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詳細介紹

一、產品應用

變溫電阻率測試系統（RMS）采用四探針法技術，可在高低溫環境下對半導體材料、金屬材料（例如康銅、鎳、鉍）以及部分非金屬樣品（例如石墨、碳材料等）的電阻率進行測量。在材料科學研究、電子器件研發與質量檢測、超導材料研究方面均發揮了重要的作用。

二、產品特點

1. 變溫范圍廣，-190℃到 1200℃全覆蓋，且變溫過程中升降溫速率可控；

2. 測試精度高范圍廣，電阻測量范圍 1e-8Ω 到 1.2e+9Ω;

3. 測試數據量大且完整，變溫過程中持續采集，電阻率數據每秒采集 2 次?

三、產品參數

參數類型	項目	技術參數
基本參數	型號	RMS-600	RMS-1200
	外觀尺寸	140m120mm42mm
	樣品臺材質	純銀	氧化鋁陶瓷
	樣品臺大小	30mm*20mm	Φ16mm
	腔體凈重	1kg
	真空度	≤1Pa
溫度參數	溫度范圍	-190℃到 600℃	RT 到 1200℃
	溫度分辨率	0.1℃
	控溫精度	±0.1℃
	最大加熱速率	50℃/min	100℃/min
	最大冷卻速率	-25℃/min	自然降溫
	加熱元件	加熱棒	鉑絲加熱器
	溫度傳感器	鉑電阻	S型熱電偶
電學參數	探針類型	固定探針 (探針前端位置和角度可調)
	調節方式	手動調節
	探針材質	鎢鋼或鈹銅
	探針數量	4個
光學參數	觀察窗個數	1
	正面觀察窗大小	Φ41mm		Φ32mm
	窗片材質	石英
整機參數	控制箱尺寸	350mm350mm150mm
	用電要求	220V/50Hz
	控溫算法	二自由度PID
	人機交互	WinTemp-RMS
	整機功率	200W			400W
電阻率測試參數	電阻率測試誤差	≤10%
	重復性測試誤差	≤3%
	電阻率測量范圍	1e-8Ω 到 1.2e+9Ω
	樣品尺寸要求	L≥10mm W≤4mm T≥50nm (適用于與塊狀、片狀、絲材和帶基底的薄膜樣品)

四、測試結果

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